Componentes de implantação de íons de tungstênio

Descrição dos componentes de implantação de íons de tungstênio

O tungstênio é um metal duro com uma aparência branca brilhante e prateada. É resistente à oxidação e ao ataque de ácidos e álcalis. É um metal volumoso e tem o ponto de fusão mais alto de qualquer metal. O nome químico do tungstênio é volfrâmio, representado por W. Seu número atômico é 74 e pertence à categoria de metal de transição, período 6 da tabela periódica.

A implantação de íons é um processo importante que é amplamente utilizado na fabricação de dispositivos semicondutores, acabamento de metais e pesquisa em ciência de materiais. É um processo de baixa-temperatura através do qual os íons de um elemento são acelerados em um alvo sólido, alterando assim as propriedades físicas, químicas ou elétricas do alvo.

Implantador de íons é o equipamento chave na fabricação de circuitos integrados. Quando os feixes de íons são lançados na superfície do semi-condutor e depositados, a concentração do portador e o tipo de condução são alterados. Devido à sua excelente modificação de superfície, o implante iônico é amplamente aplicado em materiais semicondutores, metais, cerâmicas, polímeros de alto-molecular, etc.

A implantação de íons é essencial para fazer circuitos integrados massivos (CI). Os componentes da implantação de íons são frequentemente feitos de TZM, molibdênio e tungstênio, porque esses materiais podem funcionar bem em ambientes agressivos devido à sua resistência à corrosão, força e alta condutividade térmica. A parte mais importante de um sistema implantador é o caminho do feixe no qual os componentes são acoplados. Aqui, os íons são gerados, concentrados, acelerados e direcionados para o wafer.

Produtos para a Indústria de Semicondutores

Câmaras (tungstênio, molibdênio e ligas)

Filamentos (tungstênio e ligas de tungstênio)

Fendas de arco (tungstênio, molibdênio e ligas)

Suportes (tungstênio, molibdênio e ligas)

Cátodos (tungstênio, molibdênio e ligas)

Peças de reposição (tungstênio, molibdênio e ligas, cerâmica, aço)

Especificação e Composição Química

Propriedades Químicas do Tungstênio

Propriedades físicas do tungstênio

Propriedades Mecânicas do Tungstênio

Propriedades Térmicas do Tungstênio

Aplicações de componentes de implantação de íons de tungstênio e indústrias relacionadas

● Fabricação de semicondutores

● Acabamento de metal para têmpera de aço ferramenta e acabamento de superfície

● Mistura de feixe de íons para obter uma interface graduada e fortalecer a adesão entre materiais imiscíveis

● Pesquisa e Laboratório

● Semicondutor

● Metal

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